摘要：利用傳統(tǒng)電荷泵技術(shù)對(duì)三維立體器件界面缺陷特性進(jìn)行了研究。通過(guò)改變測(cè)試脈沖上升或下降時(shí)間,分析了三維器件界面缺陷能級(jí)分布,得出缺陷能級(jí)呈現(xiàn)類(lèi)似'U'型分布。通過(guò)在源、漏區(qū)施加不同電壓,對(duì)缺陷沿溝道水平分布進(jìn)行研究,得到界面缺陷在靠近源、漏區(qū)的量最大而在遠(yuǎn)離源、漏區(qū)的位置無(wú)規(guī)則分布。通過(guò)改變脈沖保持時(shí)間,對(duì)缺陷沿高介電常數(shù)疊柵垂直分布進(jìn)行研究,可以明顯區(qū)分開(kāi)缺陷在中間介質(zhì)層和高介電常數(shù)層的缺陷量。另外,利用電荷泵技術(shù)驗(yàn)證了三維器件負(fù)偏壓溫度不穩(wěn)定性(NBTI)與界面缺陷的關(guān)系。