摘要：通過在放電回路中連接電容來控制放電電荷數(shù)目并得到穩(wěn)定的氧等離子體.利用測量的電壓電流波形和放電圖像的變化分析了放電模式在不同應(yīng)用電壓下的轉(zhuǎn)化過程.根據(jù)等離子體發(fā)射光譜計算了各種活性物種的發(fā)射光譜強度,模擬了等離子體氣體溫度、振動溫度的變化過程.結(jié)果表明:隨著應(yīng)用電壓的增加,等離子體放電模式在電壓正半周明顯地從流光放電轉(zhuǎn)化為輝光放電最后轉(zhuǎn)化為弧光放電,在電壓負半周從電暈放電轉(zhuǎn)化為弧光放電.在放電回路中加入電容可以限制單次放電的電荷數(shù)目,提高放電的穩(wěn)定性.與放電模式的轉(zhuǎn)化相對應(yīng),等離子體的氣體溫度先增加后不變.