GEM狀態(tài)轉換在化學機械拋光設備系統(tǒng)中的應用

作者：吳燕林; 李嘉浪; 周慶亞 中國電子科技集團公司第四十五研究所; 北京100176

摘要：根據(jù)Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment(簡稱GEM)通訊協(xié)議的要求,分析了子狀態(tài)、狀態(tài)要求、狀態(tài)轉換的條件、觸發(fā)狀態(tài)轉換的模塊等;根據(jù)上述不同內(nèi)容,選擇不同的消息傳遞路徑,最終實現(xiàn)GEM狀態(tài)的轉換,為設備端和主機端的交互提供了基本條件。

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