摘要：點缺陷構(gòu)成的微腔對THz波調(diào)制器的性能起著決定性的作用，而在實際制作加工過程中，由于工藝的原因，光子晶體的結(jié)構(gòu)參量會產(chǎn)生偏差，難以制備出孔徑毫無偏差的光子晶體，且介質(zhì)柱的放置位置不能達到完全精確，因此光子晶體器件的性能也因此會受到一定程度的影響。文中重點討論了點缺陷介質(zhì)柱的半徑變化對直接耦合結(jié)構(gòu)的THz波調(diào)制器性能的影響，為光子晶體調(diào)制器的實際制作和相應(yīng)的誤差分析提供了理論幫助。