基于遺傳算法相位抖動(dòng)優(yōu)化的高質(zhì)量二值條紋產(chǎn)生方法
作者：蔡寧; 陳浙泊; 林斌; 曹向群 浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室國家光學(xué)儀器工程技術(shù)研究中心; 杭州310027; 浙江大學(xué)臺(tái)州研究院; 浙江臺(tái)州318000
摘要：采用遺傳算法在相位域?qū)Χ秳?dòng)算法產(chǎn)生的二值條紋圖案進(jìn)行優(yōu)化,同時(shí),為了解決遺傳算法的耗時(shí)問題,用對(duì)二值塊的優(yōu)化來代替整個(gè)條紋圖案的優(yōu)化.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:本文方法對(duì)不同離焦量具有魯棒性,能極大改善抖動(dòng)算法的測(cè)量質(zhì)量;在輕度離焦、中度離焦和重度離焦的情況下,相位均方根誤差分別由1.493,1.209,0.989rad,減小到0.972,0.749,0.603rad.
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