銻化物二類超晶格紅外探測(cè)器

作者：黃建亮; 張艷華; 曹玉蓮; 黃文軍; 趙成城; 衛(wèi)煬; 崔凱; 郭曉璐; 李瓊; 劉珂; 馬文全 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所材料科學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京100083; 中國(guó)科學(xué)院大學(xué)材料科學(xué)與光電技術(shù)學(xué)院; 北京101407

摘要：本文主要展示了近幾年來(lái)該課題小組在InAs/GaSb二類超晶格紅外探測(cè)器領(lǐng)域取得的一些研究成果,如在短波波段(1~3μm)、中波波段(3~5μm)、長(zhǎng)波波段(8~12μm)、甚長(zhǎng)波波段(>14μm)等單色器件的成果,以及雙色I(xiàn)nAs/GaSb二類超晶格紅外探測(cè)器方面的成果,如短/中波雙色、短波/甚長(zhǎng)波雙色,長(zhǎng)波/甚長(zhǎng)波雙色紅外探測(cè)器等單管器件。除此之外,還展示了384×288中波波段InAs/GaSb二類超晶格紅外焦平面探測(cè)器組件。

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