摘要：針對線結(jié)構(gòu)光傳感器各項靜態(tài)性能參數(shù)對其測量精度影響的問題,設(shè)計了一套線結(jié)構(gòu)光傳感器靜態(tài)性能測試方案。在高精度移動平臺上使用二級量塊、納米定位臺和激光干涉儀,對傳感器的重要靜態(tài)性能參數(shù),如穩(wěn)定性、重復(fù)性和線性度進(jìn)行了分析,量化了各項靜態(tài)性能參數(shù)對傳感器測量精度的影響;以二級量塊的工作面作為傳感器測試試驗的測量表面,結(jié)合高精度移動平臺實現(xiàn)了傳感器全測量區(qū)域的測試;使用激光干涉儀對移動平臺的定位誤差進(jìn)行了補償,提高了測量結(jié)果的可信度。研究結(jié)果表明:傳感器需1 h的時間進(jìn)行穩(wěn)定來保證測量精度,其測量區(qū)域的中部重復(fù)性最佳,該區(qū)域重復(fù)性均值為0.418μm;傳感器線性度對其測量精度影響最大,由傳感器非線性引起的誤差最大為11.2μm。