摘要：針對(duì)線距標(biāo)準(zhǔn)樣片線間距的測(cè)量需求,基于關(guān)鍵尺寸掃描電鏡(CD-SEM),提出了一種寬度測(cè)量方法。首先,介紹了CD-SEM測(cè)量系統(tǒng)的基本原理;其次,使用CD-SEM對(duì)VLSI生產(chǎn)的標(biāo)稱尺寸為100 nm、3μm、10μm的線距標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行了測(cè)量;最后,對(duì)測(cè)量不確定度進(jìn)行評(píng)定,并將測(cè)量結(jié)果與VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣片證書(shū)給出的標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比對(duì)。結(jié)果表明:En值最大為-0.7,CDSEM測(cè)量線間距的準(zhǔn)確度很高。