硅基光波導諧振腔及其在陀螺傳感中的應用

作者:田野; 劉文耀; 張偉; 唐軍; 劉俊 中北大學儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室; 太原030051

摘要:光波導諧振腔是諧振式光學陀螺的核心傳感器件,其性能直接決定了諧振式光學陀螺的精度。為了提高諧振式光學陀螺系統(tǒng)的精度,分別對用于諧振式光學陀螺的核心器件透射式諧振腔和反射式諧振腔進行了研究。首先選擇適用于諧振式光學陀螺的透射式和反射式諧振腔,然后對光波導諧振腔進行高精度溫度控制,實驗測試比較了反射式諧振腔和透射式諧振腔在諧振式光學陀螺中的背散噪聲和偏振噪聲,比較發(fā)現(xiàn)透射式諧振腔引起的背散噪聲約為同品質(zhì)因數(shù)反射式諧振腔的1/2,透射式諧振腔溫度變化引起陀螺的偏振漂移均值約為同品質(zhì)因數(shù)反射式諧振腔的1/3,最后分別搭建了基于透射式和反射式諧振腔的光學陀螺系統(tǒng),測得透射式諧振腔陀螺系統(tǒng)和反射式諧振腔陀螺系統(tǒng)的零偏穩(wěn)定性分別為0.021°/s和0.048°/s,最終確定了諧振式光學陀螺采用透射式諧振腔的方案。

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