PFMEA 在紅外焦平面探測器制造過程中的應(yīng)用研究

作者:婁光楠; 解一文; 東海杰 中國電子科技集團公司第十一研究所; 北京100015

摘要:將工藝故障模式影響分析(Process Failure Mode and Effects Analysis,PFMEA)引入紅外焦平面探測器制造過程,介紹PFMEA 方法及應(yīng)用流程,并以紅外焦平面探測器涉及的關(guān)鍵工藝為例,說明PFMEA 在制造過程中的實施方法[1]。

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