摘要：該文研究基于磁致伸縮FeGa合金襯底的磁電聲表面波(SAW)諧振器。首先,在FeGa磁致伸縮襯底上濺射沉積了ScAlN壓電薄膜,完成了單端口聲表面波諧振器的制備;其次,采用X線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)等手段對ScAlN薄膜進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析;最后,采用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和微波探針臺測試S參數(shù)和群時延。結(jié)果表明,ScAlN薄膜晶粒呈柱狀生長且具有高度(002)取向,薄膜表面粗糙度在2.36nm左右;當(dāng)ScAlN壓電薄膜厚為0.7μm,波長為15.74μm時,SAW諧振器的諧振頻率為218.75MHz,相速度為3443m/s,機(jī)電耦合系數(shù)為0.06%,與COMSOL仿真計算結(jié)果較吻合。