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摘要：集成電路中產(chǎn)生的廢氣是比較多的,主要是由化學(xué)氣相沉積和揮發(fā)性有機(jī)物兩種,常用的處理措施有除害裝置、集中處理、原料替代和減少用量等。就集成電路制造中廢氣處理措施進(jìn)行了分析。
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國(guó)內(nèi)刊號(hào)：53-1087/TQ
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國(guó)內(nèi)刊號(hào)：44-1691/T
國(guó)際刊號(hào)：1681-5289
國(guó)內(nèi)刊號(hào)：11-5209/TN
國(guó)際刊號(hào)：2096-062X
國(guó)內(nèi)刊號(hào)：10-1339/TN
國(guó)際刊號(hào)：1674-2583
國(guó)內(nèi)刊號(hào)：31-1325/TN
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